书签 分享 收藏 举报 版权申诉 / 12
文档类型

DB31∕ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额(上海市)

  • 上传人:x****个人认证
  • 文档编号:4562347
  • 上传时间:2021-10-14
  • 格式:PDF
  • 页数:12
  • 大小:390.98KB
  • 《DB31∕ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额(上海市)》由会员分享,可在线阅读,更多相关《DB31∕ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额(上海市)(12页珍藏版)》请在万象文库上搜索。

    1、ICS 27.010 CCS F 01 日H王1上海市士也方标;佳DB31 / 5062020 代替DB31/506-2010 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits 2020-09-25发布2020-12-01实施ld,喃-,吨、,、,b、川、扩咱何AJFdv片、,扣,JV、,1、irJht民俨上海市市场监督管理局发布DB31/ 506-2020 目。本文件4.1、4.2为强制性的,其余为推荐性的。本文件按照GB/T1.1-2020(标准化工作导则第1部。

    2、分z标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代替DB31/506-2010(集成电路晶圆制造能耗限额。本文件与DB31/506-2010相比,除编辑性修改外主要技术变化如下za) 修改了计算方法(见第5章,2010年版的第4章); b) 修改了集成电路晶圆制造能耗限额,改为技术要求(见第4章,2010年版的第5章、第6章。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会共同提出,由上海市经济和信息化委员会组织实施。本文件由上海市能源标准化技术委员会归口。本文件起草单位z上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际。

    3、集成电路制造(上海有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司。本文件主要起草人z陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘瑾、理静、陈勇、陈继红。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为z一一-DB31/506-2010.I 集成电路晶圆制造单位产晶能源消耗限额D831/ 506-2020 1 范围本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消艳(以下简称能耗限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核,以及对新建及改扩建项目的能艳控制。本文件不适用于12英寸4。

    4、0nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用丽构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件z不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB 17167 用能单位能源计量器具配备和管理通则3 术语和定义3. 1 3.2 下列术语和定义适用于本文件。集成电路晶圆产晶生产系统integr现tedcircuit (IC) wafer pr叫uctionsystem 将硅圆片通过必要的工艺加工过程,制成集成电路晶圆产品的生产系统。注g集成电路的工艺加工过程主要包括E以硅圆片为衬底通过集成电路晶圆产品生产系统进行掺杂(包括2扩散和离子注入。

    5、一沉飘包括z物理气相淀积、化学气相淀积、外延生长)一光刻包括z衬底准备、涂胶、软烘干、对准和曝光、晦光后显彭、烘绪)一蚀刻包括g化学刻蚀、等离子体刻蚀)一去胶一化学机械平坦化等,经过多次类似的工艺加工过程,形成晶体管等元器件图形结构,并通过金属化连接以构成某种预期的电气功能,通过测试最终成为集成电路晶圆成品.集成电路晶圆产品辅助生产系统integrated circuit (IC) wafer auxmary production system 为生产系统提供生产保障环境如恒温、恒湿、恒压、净化空气等的系统,包括动力、供电、机修、循环供水、供气、采暖、制冷、仪表和厂内原料场地以及安全、环保等装置。3.3 集成电路晶圆产品附属生产系统。

    6、integrated circuit (IC) wafer subsidiary prodoctioD system 为生产系统专门配置的生产指挥系统厂部)和厂区内为生产和技术服务的部门和单位,包括各类办公室、操作室、休息室、更衣室、各种生活设施以及管理及维护等场所。3.4 集成电路晶固产晶生产界区integrated circuit (IC) wafer area 从硅圆片等原材料和各种能源经计量进入工序开始,到集成电路晶圆产品制成为止的生产空间。DB31/ 506一2020注z在生产界区内,生产系统、辅助生产系统、附属生产系统、工艺准备过程、工艺试验过程等都将对集成电路晶圆制造产生能源消耗.3.5 集成电路晶国单位产晶综合能耗。。

    7、,verallenergy consomption per Oit for integrated circoit (IC) wafer pr叫oction生产每一平方厘米集成电路晶圆产品的能源消耗总量。注g折合成电量单位为千瓦时也Wh),4 技术要求4.1 通则集成电路晶圆制造单位产品能源消耗指标分为限额值、准人值和先进值,晶圆单位产品综合能耗一般随着晶圆生产线产能利用率的降低而增大。4.2 集成电路晶国制造单位产晶能帮限额值集成电路晶圆制造单位产品能耗限定值应符合表1的要求。表1集成电路局圄制造单位产品能辑限定值晶阀宣径单位产品能耗限定值mm kWh/cm2 150 三三1.0200 1.3 -一一一-一 一一一一一二-一300 。

    8、主2.94.3 集成电路晶国制造单位产品能辑准入值集成电路晶圆制造单位产品能耗准人值应符合表2的要求。表2集成电赔画画制造单位产品能耗准入值晶圆直径单位产品能耗准入值口1mkWh/cm2 150 0.8 200 1.2 300 2.5 4.4 集成电路晶圆制造单位产晶能辑先进值集成电路晶圆制造单位产品能耗先进值应符合表3的要求。2 DB31/ 506-2020 表3集成电路晶圄制造单位产品能辑先进值晶圆直径单位产品能能准入值口1mkWh/cm2 150 0.8 200 骂王1.0300 骂王2.25 统计范圄和计算方法5.1 统计范围集成电路晶圃制造能耗统计范围指生产全过程中的能源消艳总量,包括生产系统、辅助生产系统、附属生产系统、。

    9、工艺准备过程、工艺试验过程等的各种能源消耗量和损失量之和,包括电、天然气、煤油、柴油、重油、轻油、蒸汽等一次能源、二次能掘和耗能工质的消耗,不包括用水和大宗气体,不包括基建、技政等非直接生产项目的能跟消耗,也不包括生产界区向外输出的能掘量。5.2 计算方法5.2.1 集成电路晶国制造产品综合能耗集成电路晶圆产品综合能耗按公式(1)计算:E = (E; Xki ) ( 1 ) 式中zE 集成电路晶圆产品综合能耗(折算成电能),单位为千瓦时(kWh); E; 一一集成电路晶圆制造使用第i种能源实物茧,单位为实物量单位zk;一一第t种能掘的折电能系数(参见附录A中表A.l折标准煤系数,并按0.1229kgce/kWh转换为折电能系数)J 。

    10、n一一使用能源种类数b各种能源的热值及折算电能值以企业在统计报告期内实测值为准。没有实测条件的,参照表A.l确定折算系数。5.2.2 集成电路晶圄制造单位产晶综合能辑集成电路晶圆制造单位产品综合能提按公式(2)计算zE e一豆a 式中ze一一集成电路晶圆单位产品综合能糙,单位为千瓦时每平方厘米(kWh/cm2)1 E-一集成电路晶圆产品综合能耗,单位为千瓦时(kWh);( 2 ) A一一生产加工的各种集成电路晶圆产品的总面积,单位为平方厘米(cm勺,计算方法为加工晶圆总片数乘以晶圆的单片面积5a 一-产能利用率修正系数。3 DB31/506一2020表4晶圆直径大小与单片晶圆面相对照襄晶圆直径单片晶圆面积自1mcm2 150 182。

    11、.32 200 324.12 300 729.28 5.2.3 产能利用率修正系数当产能利用率80%时,设立集成电路晶圆制造能挺指标的产能利用率的修正系数,见表5.产能利用率二注80%能耗指标修正系数1.00 表5产能利用率修正系数70% 1.10 60% 1.20 50% 1.30 注s当产能利用率不为整十数时,应采用内插法确定修正系数,如产能利用率75%时修正系数为1.05.5.2.4 企业产能利用率企业产能利用率按公式(3)计算zLj=P/Po 式中zLj一一企业产能利用率,%,P 企业在自然考核年度内,实际产出的合格晶圆产品数sPo一一-企业在建造时,设计的年产出加工晶圆产品数。6 节能管理与措施6. 1 节能基础管理40%。

    12、 1.40 ( 3 ) 6.1.1 企业应加强对产品能耗限额的管理,制定产品能,艳考核制度,定期对产品能耗进行考核。6.1.2 企业应根据GB17167配备能源计量器具并建立能源计量管理制度。6.2 节能技术管理6.2.1 企业使用的通用设备应达到经济运行状态,对用能设备的经济运行管理应符合相关经济运行标准的规定。6.2.2 对于新建及扩建企业,其年运行时间大于3000h,负载率大于60%的电动机、空气压缩机、水泵等通用设备,应不低于2级能效的要求。6.2.3 企业应根据产品生产工艺(工序过程、装置、设施和设备的能耗状况,制定相应的节能改造规划和节能措施的实施计划。4 附录A资料性附录)各种能源街标准煤系撒DB31/ 506-202。

    13、0 各种能源折标准煤系数见表A.l.表A.l各种能源析标准煤系数恤能源名称折标准煤系数原煤0.7143千克标准煤每千克(kgce/kg)洗精煤0.9000千克标准煤每千克(kgce/kg)原油1.4286千克标准煤每千克(kgce/kg)燃料油1.428 6千克标准煤每千克Ckgce/kg)汽油1.4714于克标准煤每千克(kgce/kg)煤油1.471 4千克标准媒每千克(kgce/kg)柴油1.457 1千克标准煤每千克(kgce/kg)液化石油气1.7143千克标准煤每千克(kgce/kg)天然气1.33千克标准煤每立方米(kgce/时)液化天然气1. 757 2千克标准煤每千克(kgce/kg)煤焦泊1.1429千克标准煤每。

    14、千克(kgce/kg)0.034 12千克标准煤每兆焦耳(kgce/MJ)热力当量值0.1428 6千克标准煤每1000千卡(kgce/kca)电力(当量值0.122 9千克标准煤每千瓦时也gce/kWh)注s各种能源的热值以企业在统计报告期内实汩的热值为准.没有实四条件的,采用表中各种能源折标准煤参考系数.,世5 DB31/ 506-2020 参考文献1J GB/T 2589 综合能耗计算通则2J GB/T 23331 能源管理体系要求6 ONON-om户自由上海市地方标准集成电路属国制造单位产晶能源消耗限额DB3l/ 506-2020 * 中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029)北京市西城区三里河北街16号(10004日网址总编室:(010)68533533发行中心:(010)51780238读者服务部:(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经铺* 印张0.75字数14千字2020年11月第一次印刷开本880X 1230 1/16 2020年11月第一版16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68510107定价* 号155066 5-2434 OB31/ 打印H期2020年11月25H F002AA 。

    1. 1、本文档共12页,下载后即可获取全部内容。
    2. 2、本文档由用户提供并上传,付费之前,请先通过免费阅读内容等途径辨别内容,收益归属内容提供方;如有侵权或不适当内容,请进行举报或申诉。
    3. 3、本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
    4. 4、万象文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
    提示  万象文库所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    关于本文
    本文标题:DB31∕ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额(上海市)
    链接地址:https://www.2wx.com/view-4562347.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 最近更新 - 网站客服 - 联系我们

    网站客服QQ:173720847

    copyright@ 2019-2021 万象文库(www.2wx.com)网站版权所有

    备案号:鄂ICP备19026039号-1

    本网站采用C2C交易模式,用户上传的文档直接被用户下载,网站仅作为一个中间服务平台,网站所有文档下载所得收入归上传人(包括作者)所有。万象文库网只提供储存空间,不会对上传内容本身作任何修改或编辑。如文件中包含任何侵犯您的版权或隐私,请立即通知我们,我们将立即予以删除!